产品描述
4 pocket 设计,大大减少了填料次数;
适合难熔金属,如钽、钼、钨的蒸镀或掺杂;
带束流监控模块,可在较长时间内保持束流的稳定性;
参数
加热丝类型:掺杂钨丝;
加热丝发射电流:300 mA;
棒材偏压:2 KV;
棒料直径: 6 mm;
棒料送料长度:50 mm;
棒料温度:3500 ℃;
真空内长度:290 mm;
安装法兰:DN40CF;
烘烤温度:250℃;
内置水冷;
内置手动挡板;
可蒸材料
金属材料,尤其是难容金属,如Ta,Mo,W