操纵台

操纵台

XY平移台

安装法兰CF40/CF63

X/Y行程+/-10mm

小XYZ

安装法兰CF40/CF63

X/Y行程+/-10mm,Z行程0-350mm

Z stage

大XYZ

安装法兰CF63/CF100/CF150

X/Y行程+/- 0-20mm,Z行程0-700mm