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操纵台

XY平移台安装法兰CF40/CF63X/Y行程+/-10mm小XYZ安装法兰CF40/CF63X/Y行程+/-10mm,Z行程0-350mmZ stage大XYZ安装法兰CF63/CF100/CF150X/Y行程+/- 0-20mm,Z行程0-700mm
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线性驱动部件

线性驱动安装法兰：CF16/CF40/CF63/CF100行程：0-300mm（可定制）带PA调节的线性驱动安装法兰：CF16/CF40/CF63/CF100行程：0-300mm（可定制）
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真空连接件

KF系列公称直径（mm）：DN10 - DN50法兰的材质主要为 SUS304(或 SUS304L)ISO系列公称直径（mm）：DN63 - DN630法兰的材质主要为 SUS304(或 SUS304L)
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